台式扫描电镜

发布时间:2020-03-06
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仪器名称

台式扫描电镜

型号

EM 30

生产厂家

韩国库赛姆(COXEM

主要技术指标

台式扫描电镜

1、光学系统

光源:自动控制,钨丝阴极, 预对中灯丝。聚焦:具有手动及自动聚焦功能。分辨率 : 8.0nm @30KV  SE Image;放大倍数 : x20 ~ x100,000;加速电压: 1kv - 30kv;磁透镜系统 :双聚光镜;物镜光阑 : 4位可移动,摇摆对中;扫描光栅电位移及旋转: +/-50um 0~360°

2、样品室系统

样品室: 6个接口,可接配内置外置EDS;样品台:三轴马达驱动, X (35mm) Y (35mm)T (0~45°)R360Z向手动(5-50mm);样品尺寸(最大) : 直径60mm 高度45mm  

3、真空系统

全自动 (真空时间: 小于2分钟) 前级真空: 旋片式机械泵; 高真空 : 涡轮分子泵 4X10-3 Pa

4、探测器系统

探测器:  E-T型二次电子探测器;高灵敏四分割半导体背散射电子探测器(选配);扫描模式: 选区 (320 x 240 pixel) TV全屏扫描模式:(640 x 480pixel), 三档全屏慢扫描模式 (800 x 600 pixel) 照相模式:1280 x 9602560 x 19205120 x 3840 pixel,示波器扫描模式;图像格式 : JPG, TIFF, BMP  ;图像显示器: 21.5 LCD Monitor  ;自动控制功能: 电子枪饱和, 电子枪对中, 电子枪偏压, 亮度对比度, 聚焦;工作距离 : 4 ~50mm;控制系统 : USB通讯接口计算机控制,Dell i5 PC, 21.5英寸显示器,独立显卡 2G内存,操作系统 : Windows 7 ;图像处理分析软件 :  图像标注编辑存储, 长度、角度,面积等测量功能, 实时图像灰度直方图显示。 

布鲁克能谱仪

主要参数:

1XFlash®探头 430M:能量分辨率< 133 eV (MnKa, 100 000 cps), 1-100 000 cps分辨率保持不变;最大输入计数率> 150 kcps;活性面积30 mm2;超薄窗口,元素探测范围硼(5)至镅(95)-完全无振动,完全免维护,帕尔贴效应致冷。

2XFlash® MIN SVE信号处理单元 (D330),最大可输出计数率60kcps;超低死时间混合脉冲数据处理器;完全由软件自动控制的硬件校准

3、输入输出扫描系统和用于实时谱图采集的 Mega Link接口适配器

4ESPRIT Spectrum ,用于谱图采集和定性分析的软件,带有实时模式和最完备的原子数据库

5ESPRITUQuant,用于无标样定量谱图分析的自动软件工具

6ESPRIT  UQuantQ113),供专业用户使用的扩展谱图分析选项

7ESPRIT  UQuant,用于用户自定义谱图评估方法的编辑器

8ESPRIT  Scan(Q201),从两个可选择的信号源,例如 SE BSE,采集图像的软件,以及用于外部扫描系统的驱动器( 4096x4096像素)

9ESPRIT  Multipoint,自动多点和选区分析软件

10ESPRIT  Line(Q203),存储谱图数据库的超快速线扫描软件

11ESPRIT  Map(Q204),超快速元素面分布

12ESPRIT  Project(Q126),数据管理和归档系统

13ESPRIT  Report(Q121),生成报告和格式化打印

14ESPRIT  SEMLink(Q122),与 SEM的数据通信

15Mylar

主要用途

/测试项目

扫描电镜是以电子束作为光源,电子束在加速电压的作用下经过电磁透镜聚焦,在扫描线圈的作用下,在试样表面做光栅状扫描,产生各种同试样性质有关的物理信息(如二次电子,背反射电子),然后加以收集和处理,从而获得表征试样形貌的扫描电子像。

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。

在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。

能谱仪(EDS-检测特征X射线能量,称为能量色散谱仪(Energy Dispersive Spectroscopy),简称能谱仪(EDS),主要是对材料微区化学成分进行定性及定量分析,可以用于金属、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析等。

安放地点

资环楼220

负责人

蒋文杰(13984848440